нивают ее качество, т. е. определяют реактивные параметры элементов структуры фильтра и паразитные связи между ними. Собственные емкость Спп(пФ) и индуктивность Ьпп(мкГн) пленочного проводника прямоугольной формы могут быть рассчитаны по формулам:

С„„=0,0241 »-; Z.n„ = 0,002/ [2,3 Ig {2llb) + 0,223ЪЫ1 + 0,5].

Расчет паразитных связей между двумя произвольно расположенными на подложке пленочными проводящими элементами дан в [8].

На рис. 3.38 приведен фрагмент топологического чертежа (без надписей, таблиц и т. п.) платы акустоэлектронного фильтра с

Рис. 3.38. Фрагмент топологического чертежа платы акустоэлектронного фильтра с емкостным делителем

емкостным делителем, который должен содержать: 1) позиционные обозначения изображенных элементов; 2) номера периферийных контактных площадок (нумерацию рекомендуется начинать с левого нижнего угла против движения часовой стрелки); 3) габаритные размеры; 4) табл. 3.10 с расшифровкой принятой штриховки, применяемой для обозначения соответствующих слоев и сведениями о материалах, из которых они выполнены; 5) топологические чертежи слоев; 6) технические требования.

Топологические чертежи слоев выполняют на последующих листах чертежа платы (отдельный лист на каждый слой). Следует иметь в виду, что по топологическим чертежам изготовляют маски или фотошаблоны для получения необходимых пленочных элементов.

На топологическом чертеже слоя (рис. 3.39) размещают надпись с названием слоя, например «Вид на слой с электродами выходного преобразователя, контактными площадками и суммирующими шинами». Размеры элементов и их расположение задают координатным методом либо табл. 3.11, которую выполняют на отдельном

листе с основной надписью по ГОСТ 2.104-68. В таблице указывают значения координат всех вершин элементов. Нумерацию в пределах каждого элемента начинают с крайней левой нижней вершины, имеющей наименьшее значение координаты X, и продолжают по часовой стрелке. Нумерацию вершин в пределах слоя

ТаВлииаЗ.Ю

Услодное обозначение спая

Наименование слоя

Материал слоя

Марка

ГОСТ, ост, ТУ

Электрическая характеристика

Метод нанесения

Электроды, суммирующие шины, проводники, контактные площадки

Ванадий В а 93 Алюминий АЯ9

гост

818-73

ps 0,1 Ом/и

Вакуумное напотение

Диэлектрик

Воросили-. катное стекло

ЕГО 035МТУ ТУ1ПВ

c„=sao

нф/см

ТО же

Электроды, верхняя обкладка конденсатора

Ванадий В а 93 Алюминий А 39

ГОСТ STB-73

длО.ТОм/а

Защитный слой

Фоторезист негативный ФН-Т1

Г/е~14--S3T-78

Фопа-графия

выполняют с нижнего левого элемента с переходом к следующему ближнему по направлению снизу вверх и слева направо. Как правило, каждому элементу присваивают буквенное обозначение, например Б и В согласно рис, 3.39, и проставляют номер вершины (единицу), с которой начинается нумерация остальных вершин.

Рис. 3.39. Фрагмент топологического чертежа слоя

Координаты различных элементов в таблице отделяют друг от друга утолщенной линией.

Пример формулировки технических требований, размещаемых над основной надписью первого листа топологии акустоэлектронного фильтра.

1. Плата должна соответствовать ОСТ...

4281

2. *Размеры для справок.

3. Элементы в слоях выполнять по координатам, приведенным в таблицах на соответствующих листах. Допустимые предельные отклонения размеров элементов ±..., кроме мест, оговоренных особо. Координаты даны в масштабе чертежа.

4. Электрические характеристики и данные по изготовлению отдельных слоев приведены в табл. ...

5. Емкости конденсаторов и электрических цепей должны соответствовать данным, указанным в табл. ...

6. Площадь напыления золота..., толщина напыления...

7. Внешний вид платы должен соответствовать требованиям инструкции АБВГ. XXXXXX.OOI.

8. Номера контактных площадок и обозначения элементов показаны условно.

Таблица 3.11

Координаты Вершин зпементод к листу N1

8. Вычерчивают сборочный чертеж акустоэлектронного фильтра. На данном этапе необходимо конструктивно обеспечить герметизацию фильтра и его экранирование. Задачей герметизации является защита платы фильтра от внешних воздействий и придание ей законченного конструктивного оформления. Обычно акусто-электронные устройства герметизируют с помощью корпусов аналогично, например, герметизации ИМС. Поэтому перед выполнением настоящего этапа рекомендуется изучить литературу [5- 7], в которой описываются конструкции, технология изготовления тонкопленочных микросхем и акустоэлектронных устройств, уяснив при это.м особенности технологии изготовления последних. Руководствуясь ГОСТ 17467-79, необходимо попытаться подобрать корпус, который выпускается специализированным предприятием для ИМС. С целью обеспечения экранировки фильтра рекомендуется использовать металлостеклянные корпуса первого